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波前曲率傳感器/壓電驅(qū)動(dòng)微動(dòng)平臺，裝配CCD相機(jī)，光束方向快速移動(dòng)，臨近位置光束剖面/形貌分析，波前推導(dǎo)CCD像素級分辨，光束傳播參數(shù)分析（M2、瑞利長度、束腰直徑），Zernike分析畸變控制，采用自我參考法，無光束相干要求，緊湊式設(shè)計(jì)，在線檢測。